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隔振低温恒温器

隔振低温恒温器采用闭循环氦气为载冷剂,将相互独立的两路KDE415-KDC6000 GM低温制冷机的冷量传递至样品仓内相互独立的两个冷冻室,冷冻室的温度波动小于±3mK,振动低于1um,温度低于13K。

主要技术参数:

序号

项目

指标要求

实测指标

1

控制对象

靶室、燃料室(两冷冻室独立控制)

合格

2

温度波动

燃料室

优于±50mK

±20mK

靶室

优于±10mK

±5mK

3

极限温度

低于13K

12.6K

4

整体振幅

小于1um

X:0.8um

Y:0.2um

Z:0.2um

5

真空漏率

优于5.0×10-10Pa·m3/s

3.0×10-10Pa·m3/s

6

极限真空

5.0×10-4Pa

3.0×10-4Pa

7

降温时间(至30K)

小于4小时

3.5小时

8

升降温速率

连续可控可调,0.01K/min~3K/min

合格

9

温度分布

靶室与冷源耦合的最近端与最远端温差小于0.01K

合格

 

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