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低温真空泵是一种利用低温冷凝和低温吸附原理来获得真空环境的容积式真空泵,无需液氮,运行成本低;气体抽速大,排气速度快;操作简便,稳定可靠,使用寿命长,无油无污染。此次出厂的KDCP-8L型低温真空泵,极限真空可达5×10-7Pa,抽速可达氢气2300L/s、氩气1300L/s、氮气1500L/s、水4000L/s,快速再生时间仅需35分钟,采用分离式手操器,可远程控制。
由于其本身的优良特性,低温泵十分适合应用于要求洁净无油、快速抽气超高真空的场景,特别是溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、离子注入设备、分子束外延设备、空间模拟装置、高能物理研究装置、加速器束流管、超高真空装置等。随着近年来我国产业升级加速,半导体行业、离子注入、真空镀膜及空间模拟等设备对低温泵的需求也日益增加。面对国外企业在低温泵领域的市场及技术垄断,中船鹏力超低温公司聚集力量,重点攻关,如今成功实现整套低温泵设备的完全国产化。
今后,中船鹏力超低温将对低温泵系列产品不断进行升级,提升性能指标及稳定性,为我国真空行业发展贡献力量!