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超低温极低振动超高真空系统
2017-09-06典型定制型低温恒温器 超低温极低振动超高真空系统
该系统为国家自然科学基金重大科学仪器研制项目“高分辨原位实时摩擦能量耗散测量系统”的重要组成部分,已成功交付运行。该系统集成了鹏力超低温公司的GM低温制冷机、GM低温制冷机为冷源的超低振动低温恒温器、液氦/液氮为冷源的低温恒温器、GM低温制冷机为冷源的氦回收纯化液化系统、超高真空直线传样系统及超高真空圆形传样系统等高端设备,并具备较高的性能指标,如温度低于3K,振动低于±5nm,真空度优于1×10-10mbar。
技术参数 |
温度范围 |
<3K |
振动指标 |
<±5nm |
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真空度 |
优于1×10-10mbar |
综合腔性能指标 |
样品最低工作温度 |
<3K |
样品工作温度范围 |
3K~室温连续可调 |
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样品垂直方向振幅 |
≤±10nm |
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样品水平方向振幅 |
≤±5nm |
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综合腔真空度 |
优于5×10-7mbar |
真空传样性能指标 | |
超高真空部分真空度 |
极限真空值优于1x10-10 mbar |
高真空部分真空度 |
极限真空值优于1x10-8 mbar |