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气体间隙调相低温制冷机技术
结合了GM低温制冷机和脉管低温制冷机的优点。将GM低温制冷机中气缸和活塞间的气
体通过调相装置的作用，达到脉管制冷的效果，取消密封环，从而解决了因密
封环磨损导致的制冷性能和可靠性下降的问题，大大延长了冷头的保养周期
和寿命。已申请全球专利和国内专利。
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纳米过滤通道油分离技术
通过采用纳米级的先进过滤材料和油分离技术，将压包产生的
高压氦气中的油完全分离并返回压包，减轻了油吸附器的负
担，大大延长了压缩机的保养周期。
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自动调节气体流量与相位的脉管制冷机技术
根据制冷机在工况变化时引起的性能衰减信号，自动调节系统中气体的流量和相位，从而遏制制冷性能的衰减、大大提高了制冷机的可靠性和稳定性。
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大规模集成电路用-环保节能型低温真空泵技术
采用变频和压缩机气量分布可调，达到节能的效果；采用环保型蓄冷材料，
智能化控制，快速再生和完全再生可选；改良型的冷板结构和尺寸设计，产生大的抽
气速度和抽气容量；采用气体
间隙调相低温制冷技术和纳米过滤通道油分离技术，大大延长了低温真空
泵的保养周期和寿命。
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不含可燃气体的混合工质低温制冷技术
采用不含可燃气体的混合工质低温制冷技术，
充分保证了安全性，并能达到液氮温度。可广泛应用于煤层
气回收、天然气液化、红外探测和低温冰箱等。
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用于大型低温冷凝液化装置的脉管膨胀机技术
低温下没有任何运动部件，可取代传统的活塞、透
平等机械式膨胀机技术，应用于大型低温冷凝液化装置。
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气体的净化、冷凝、液化和回收技术
采用纳米油分离技术和脉管膨胀机技术，
有效地提高了大型低温净化、冷凝、液化和回收装
置的效率和可靠性。
